端导真镀机
机型:r-bc10
端导真镀机主要参数
规格
规范
功能确认
备注

机型:R-BC10

端导真镀机主要参数

规格

规范

功能确认

备注

适用产品型别

0402  0603  0805  1206型别(需指定)

真空检测

复合真空计(含电阻规+电离规)

电源

3P4W 220V/380V  50Hz

溅射方式

直流脉冲磁控溅射,功率12KW

气压

5kg/c㎡  以上(饱和压力)

治具溅射方式

自传+公转夹角溅射,转速0~5r/min可调

操作接口

触控屏幕

工作气体输送

质流量计(MFC)+电磁阀组合,输入Ar(0~100sccm±0.1%)

产能

30min/

空载极限真空

1.0×10-4Pa

良率

99%以上

泄漏率

真空度由1。0×10-4Pa降至5。0×10-2Pa时间≥5min

稼动率

85%

空载抽速

常压到6.0×10-2Pa用时≤10min

抽真空系统

油扩散泵+机械泵系统

阻抗

测量单片瓷条端面阻抗小于100Ω

端导真镀机功能说明

腔体:

1.转盘

2。治具

真空计:

1.复合式数显真空计

2。电阻规

3.电离规

溅射靶:

1。镍铬靶材

2.磁控源

真空阀:

1.主阀

2.底阀

3。粗抽阀

4。节流阀

5。管道阀(连接各泵浦管道阀门)

水冷系统:

1. 进出水管路

2. 水压表及缺水报警器

电柜:

1.人机界面

2.磁控电源

3。偏压电源

抽真空系统:

1.单片旋片泵

2。扩散泵

软件功能:

1。制程报告记录

2.可预设10组工作参数

3.警讯履历

4.真空度、电流、电压趋势图

5.Target换靶预警功能

6。硬件动作interlock、错误动作保护功能

设备性能:

1.本设备采用单片旋叶泵+扩散泵组合抽真空系统,抽真空速度较快,从大气压抽到工作真空需要约5MIN,比之前设备节约25min/炉以上。效率提升30%-50%,单炉生产在25-30min以内。

2。保养周期长,连续生产无需保养(除日常靶材保养),受环境影响较小,无停机后重启时间上等问题。

 3.优良的人机通讯功能,操作更便捷。可连续存储一年的工艺参数,便于品质跟踪。强大的数据处理功能,可与现场ERP连接使用。